ウェハ検査ソリューション

薄厚ウェハの歩留向上にトータル検査ソリューション

装置名称	メーカー
ウェハクラック検出システム BG、ポリッシュ後のクラックを簡単に観察	（株）アルテクス （丸文（株））
保護膜付／裏面研磨ウェハ厚み・反り測定器 テープ・フレームの有無に関わらず非接触でウェハ・ガラスの厚みを測定	土井精密ラップ（株） （丸文（株））
渦電流式ウェハクラック検査装置 渦電流を用いて、ウェハ保護テープの有無に関わらずクラック検出可能	（株）エーイーシー （丸文（株））
ウェハ外観検査、ウェハバンプ外観検査装置 ウェハ表面の欠陥検出、ウェハ上のバンプ外観検査	ICOS （丸文（株））
ウェハ・ガラス用テープ真空貼付機 真空方式の為、異物・気泡を防ぎ、斑なく低ストレスにて貼付可能	日立設備エンジニアリング（株） （丸文（株））
簡易原子間力顕微鏡 現場レベルの条件下でナノレベルの3次元表面形状測定可能	ソフトワークス（株） （丸文（株））
ウェハエッジ外観検査装置 ウェハ外周、端面の傷・異物・クラック・チップの欠陥検査	ソフトワークス（株） （丸文（株））
極薄ウスウェハ自動検査・移載・搬送システム 独自のベルヌイKUMADE方式にて極薄ウェハを低ストレスで搬送可能	Harmotec （丸文（株））
半田ボールマウンタ 高精度にて一括フラックス転写、一括半田ボール搭載実現	Aurigin （丸文（株））